Comsol， 使用 COMSOL Multiphysics“等离子体模块”对 GEC CCP 反应器进行模拟。 其中，放电气压为 100 mTorr，氩等离子体通过 13.56 MHz 的周期性电激励维持。 该模型是二维的，描述了放电的多个宏观属性的空间和时间周期演化。 反…

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